在真空環(huán)境下,選型的核心思路是放棄傳統(tǒng)“相對(duì)濕度"概念,轉(zhuǎn)向測(cè)量“露點(diǎn)"或“水蒸氣分壓"。選型決策主要基于您的真空度、測(cè)量目的和預(yù)算。
核心結(jié)論:電容式高分子薄膜露點(diǎn)傳感器
對(duì)于絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用和科學(xué)研究,電容式高分子薄膜露點(diǎn)傳感器是默認(rèn)的選擇,因?yàn)樗鼘?shí)現(xiàn)了性能、可靠性和成本的最佳平衡。
四大主流技術(shù)選型對(duì)比,下表清晰地對(duì)比了四種主要技術(shù)的特點(diǎn),幫助您快速?zèng)Q策。

真空濕度傳感器選型決策圖:
遵循以下決策流程,可以幫您快速鎖定適合您需求的傳感器類型:

關(guān)鍵選型要點(diǎn)與注意事項(xiàng):
1.真空度與量程匹配:
確認(rèn)傳感器的露點(diǎn)測(cè)量范圍是否能覆蓋您的真空工藝要求。例如,高真空環(huán)境需要傳感器能測(cè)量-80°C以下的露點(diǎn)。
2.安裝與集成:
接口:確保傳感器探頭帶有適合您真空腔體的標(biāo)準(zhǔn)法蘭(如CF、KF、ISO)。
位置:安裝在能代表工藝氣體區(qū)域的位置,避免死角和局部放氣源。
出氣率:傳感器自身材料應(yīng)是低出氣率的,避免污染您的真空系統(tǒng)。
3.校準(zhǔn)與維護(hù):
真空露點(diǎn)傳感器需要定期校準(zhǔn)以保持精度。詢問供應(yīng)商的校準(zhǔn)周期、服務(wù)和成本。
了解傳感器的預(yù)期壽命和在污染環(huán)境下的穩(wěn)定性。
最終建議:
如果您不確定,就從電容式高分子傳感器開始。它是解決90%真空濕度測(cè)量問題。
聯(lián)系專業(yè)供應(yīng)商的技術(shù)支持,如維薩拉或密析爾,提供您的具體工藝參數(shù)(如真空度范圍、工藝溫度、是否存在其他氣體等),他們能為您推薦最合適的型號(hào)。

